XL
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
XL *, à vide élevé Angle Valve, Air Operated
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XL * V, à vide élevé angle Vannes, pneumatique à w / Electrovanne
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Léger et compact
- Température de surface uniforme
- Grande résistance du FKM
- Faible dégazage
- Faible pollution par les métaux lourds
XLA, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed/Bellows Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XLAV, Aluminum High Vacuum Angle Valves, Air Operated w/Solenoid Valve
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XLG, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Double Acting, O-ring Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Air pressure applied to pilot port shifts piston-coupled valve
- Numerous maintenance parts available to extend useful life of valve
- Standard FKM seals, plus 8 additional seal compound options
- Auto switches mountable from 4 directions
- Optional 100°C and 150°C heaters (UL compliant lead wire)
XLF, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed, O-ring Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
XLF is a normally closed, single acting high vacuum angle valve with an O-ring shaft seal. The XL*-2 family shares common features with all series members. Bodies are made of aluminum for light weight and excellent thermal conductivity, resulting in a uniform temperature for the entire valve body. The body offers excellent resistance to fluorine corrosion. A low sputtering yield and the absence of heavy metals avoid wafer contamination.
XLFV, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Normally Closed, O-ring Seal with Solenoid Valve
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
- Excellent thermal conductivity offers uniform temperature and decreased gas condensation inside valve
- High corrosion resistance to fluorine gas
- Minimal outgassing
- Minimal contamination from heavy metals
- Optional heaters
- Optional position sensors
- Optional oxalic acid anodizing for internals
XLC, Aluminum High Vacuum Angle Valve, Double Acting, Bellows Seal
High vacuum angle valve series XL provides excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve. The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
XLS, à vide élevé Angle Valve, type électromagnétique, balance Soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Les particules sont réduites car il n'y a pas de pièces métalliques mobiles
- Le mécanisme d'équilibre de la pression permet un sens d'échappement libre
- Peut être utilisé pour un équipement portable car le système pneumatique n'est pas requis
- Le circuit d'alimentation du contrôle du pilote de l'électrovanne est en standard
XLH, manuel à vide élevé Angle Valve, joint à soufflet
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Vanne coudée pour vide élevé
- Type : manuel, joint de soufflet de protection
- Taille de la bride : 16 ~ 50
- Détection thermique : H1 (80°C), H2 (100°C), H3 (120°C)
- Non compatible avec les détecteurs
XL * Q, à vide élevé Angle Valve, Aluminium monotouche Connection & Release
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Connexion et relâchement instantanés, ne nécessite aucun outil
- Léger et compact
- Fonction de commutation automatique
- XLAQ: joint à soufflet à simple effet, normalement fermé
- XLAQ: les tailles de bride sont 16, 25, 40, 50
- XLDQ: contrôle en 2 temps, simple effet
- XLDQ: les tailles des brides sont 40, 50
XLJ, Vide Angle Valve w / sortie Valve
série haute soupape d'angle à vide XL fournit d'excellents résultats de conductivité thermique dans une température uniforme pour l'ensemble du corps de soupape et une diminution marquée de la condensation des gaz à l'intérieur de la vanne. La vanne ne contient pas de métaux lourds, tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome), et un faible rendement de pulvérisation contribue aussi à réduire au minimum la contamination par les métaux lourds de plaquettes semi-conductrices.
- Compatible avec des gaz inertes
- tailles de brides: 25 et 40
- plage de pression de fonctionnement: atmosphérique à 0,01 Pa
- Température de fonctionnement: 5- 40 ° C
- options de tension: (100, 110, 200, 220, 230, 240) ACC; (12, 24) VDC