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fendus Vannes
La valve à fente de la série XGT convient à la valve de cloison entre la chambre de serrure de charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de processus dans l’équipement de fabrication de semi-conducteur, etc.
XGTP, Vanne à guillotine à joint parallèle
Série XGTP fente fonctions de valve de portail entre les chambres de matériel semi-conducteur. positions typiques incluent entre la chambre de transfert et la chambre de sas de chargement ou de transfert et les chambres de traitement. Le XGTP a été conçu pour faciliter la maintenance, y compris l'accès facile à remplacer le soufflet de l'actionneur ou la porte. Faible génération de particules et un cycle de 3 millions de survie sevice productivité élevée des outils semi-conducteurs.
- Grande durée de vie: 3 million cycles.
- Faible génération de particules: Réduction de 1/5 min.
- Soufflet remplaçable.
- Verrouillage mécanique d'extrémité.
- Réduction de la consommation d'air de 22%.
XGT *, à vide élevé Slit Valve
Les vannes fendues de la série XGT peuvent être employées avec la vanne de cloisonnement entre la chambre de verrouillage de la charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de processus dans les appareils de fabrication de semi-conducteurs, etc.- Longue durée de vie: 3 millions de cycles (dans la plage de température standard)
- Faible génération de particules: réduite de 1/5 ou plus (par rapport au produit actuel)
- Maintenance simplifiée
- Remplacement facile du soufflet
- Le portail peut être remplacé par le haut (sur commande)
- Mesures de sécurité
- A mécanique le mécanisme de verrouillage d'extrémité a été adopté
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